现代超纯水制造工业纯水设备典型工艺流程为：
1: 预处理－反渗透－纯化水箱－离子交换器－紫外灯-纯水泵－用水点
2: 预处理－一级反渗透－二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
3: 预处理－反渗透－中间水箱－中间水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
4: 预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点
源水→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→一级反渗透膜→二级反渗透膜→TOC脱出器→EDI系统·低压开关保护高压泵不会因供水停止而损坏。高效率、低噪音的高压泵，污水处理，降低运行噪音，造纸厂污水处理，减少耗电。·脱盐率高，运行压力低的卷式复合膜提高了产水水质及降低运行成本，且使用寿命长。产水、浓水各设有流量计以监视并调节运行出水量及系统回收率。·产水电导率表连续监视产水水质。高纯水设备参数：污染物去除率脱盐率：99.8% 有机物去除率：>150MW 细菌隔除率：>99% 热原去除率：>99% 颗粒去除率：>99% 进水要求：污染指数(SDI)：<5 余氯：<0.1mg/L PH：5-8 水温：4°-40℃ 高纯水设备
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