离子交换式工业纯水制备：1、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点 2、反渗透式工业纯水制备：原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点 3、电去离子式工业纯水制备： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点。
超纯水设备采用预处理、反渗透技术、混床、EDI装置以及后级处理等方法，VOC废气处理，将水中的导电介质几乎完全去除，VOC废气处理系统，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。 超纯水设备又称做：超纯水器，超纯水机，超纯水仪，VOC，超纯水系统，实验室超纯水器等。 超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水能达到18.25兆欧。
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